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真空技术在半导体制造中有什么应用？

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东莞质优金属科技有限公司2024-05-23

在半导体制造中，真空技术用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入等工艺。这些工艺需要在高真空或超高真空环境下进行，以确保半导体器件的性能和可靠性。

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